大电流静态参数测试系统 SPT1000A

产品概览

SPT1000A静态参数测试系统可用于各类二极管、三极管、绝缘栅型场效应管、结型场效应管、单向和双向可控硅、普通和高速光耦、整流桥、共阴共阳二极管及多阵列器件等各类分立器件的静态参数测试。
系统搭配了业界领先的源表（SMU）和精密LCR表。使得本系统可以在3kV和1000/2000A的条件下实现精确测量和参数分析，漏电流测试分辨率高达fA级，电压测试分辨率最高可达nV级，以及3000V高压下的寄生电容的精密测量。本系统不仅适用于传统硅基功率器件，也可用于新型功率半导体器件如碳化硅、氮化镓、氧化镓等的静态参数测试。
SPT1000A在测试夹具设计上采用一站式设计，被测件插入夹具后，可以一次性完成高压、大电流，寄生电容相关测试，无需更换测试夹具和测试连接，简化操作步骤，提高测试效率。
系统采用自动化测试软件平台，简化数据管理，一次配置后完成多项参数测量，方便快捷。且能够依据客户需求进行定制化测试和数据报表生成。

产品介绍

高灵活度：可同时兼顾分立器件和模块的静态参数测试。

高兼容性：支持不同封装种类器件和功率模块测试，兼容加热板和热流仪控温测试。

Qg测试：提供栅极电荷测试能力。

高精度：选用高精度源表进行电压电流参数测试。

全范围C-V能力：电容测试范围：pF ~nF
偏置能力：可施加高达 3kV 直流偏置

宽动态范围：电压测试范围：uV 至 3kV
电流测试范围：pA 至 1000A（脉冲模式）

产品参数

基本参数

适用于功率器件、功率模块直流特性分析，最高可达3000V/1000A（可扩展2000A）；
高集成度测试系统，一站式完成高压、大电流、电容参数测试，无需更改连线；
微欧级导通电阻测量能力；
在高电压偏置下进行精确的漏电流测试和电容测试；
内置加热装置，加热范围从室温至+200摄氏度；
在高达3000 V直流偏置下，完全自动化的电容（Ciss、Coss、Crss等）测量；
高电流脉冲测量，脉宽时间分辨率可达1微秒；
栅极电荷测量，可实现封装器件测试或晶圆片上测试；
带有安全互锁装置的测试夹具，可配合热流仪进行冷、热温度测试；
支持JEDEC对三代半导体如SiC MOSFET的阈值电压Vth测试要求；

软件介绍

设备管理
提供设备控制和管理功能，可对测试系统使用的仪器资源如源表、LCR表等进行标准化管理，不用修改或编译软件即可适应相似仪器的变更或升级替换。
故障诊断功能，能自动检测测试设备工作情况，如有工作异常情况及时报警。
自动测试
软件自动控制设备按项目或产品设定的流程完成组件自动测试，并将测试数据测试过程自动保存到测试数据库。
扩展能力
可根据需要灵活增减测试参数，并通过图形化手段灵活创建和编辑各参数的测试方法和流程。
提供图形化的测试序列编辑环境，为用户提供可视化、组装式的测试序列创建平台。
软件具有二次开发能力，可进行测试序列、数据处理算法、操作员界面的二次开发。
数据管理
可以显示测量波形、曲线等；具有测量数据查询、数据处理、自动生成报表并打印的能力；对测试数据进行分析、判断。
权限管理
有用户权限管理功能，用于设置不同工作人员的权限。

夹具设计

SPT1000A在测试夹具设计上采用一站式设计，被测件插入夹具后，可以一次性完成高压、大电流，寄生电容相关测试，无需更换测试夹具和测试连接，简化操作步骤，提高测试效率。

测试能力

主要性能指标

C-V测量指标

大电流脉冲源指标