用途场景
规格参数
产品概览
本系统详细主要针对玻璃基板漏电测试系统进行测试，为系统的设计、装配、操作、维护、校准及验收提供标准化依据，确保系统能够稳定、精准完成510×515mm玻璃基板芯片的漏电和电阻测试任务，重点明确12通道同步测试与专用探针卡的适配配合要求。
产品介绍
· 电测系统通道数：≥12通道，支持12通道同步触发、同步输出、同步采集，通道间电气隔离，无信号串扰，配12通道高精密探针卡；
· 电压量程：±100mV~±200V，分辨率1μV，支持电压精准微调，满足不同规格玻璃基板芯片的测试电压需求；
· 电流量程：0.12pA~10A，分辨率10aA，超高灵敏度可精准测量纳安、皮安级微弱漏电流，电流测量基本精度控制在0.03%以下；
· 测量精度：电压测量基本准确度0.012%，电流测量基本准确度0.03%，保障测试数据的精准性与重复性；
· 响应速度：最高读数速率30000次/秒，可快速完成单点位测试，适配12通道同步高效测试需求；
· 接口支持：标配GPIB、USB、以太网（LXI）、TSP-Link®接口，支持多设备级联动控制，实现12通道统一调度；
· 工作模式：支持四象限源/灌电流操作，可灵活切换恒压、恒流测试模式，分别适配漏电测试与电阻测试场景；
· 基板尺寸适配：最大承载510×515mm玻璃基板，兼容厚度0.3~1.1mm的各类玻璃基板，适配本系统测试对象规格；
· 定位精度：X/Y轴定位精度≤±2μm，Z轴行程0~50mm，定位精度≤±0.5μm，Z轴接触压力可调，保障探针卡与基板均匀接触；
· 工作台平整度：工作台平面度≤0.01mm/m，确保玻璃基板放置完全平整，避免基板翘曲导致探针接触不良；
· 探针卡适配：支持定制化12通道探针卡安装，具备专用探针卡固定基座，安装后同轴度偏差≤1μm，保证探针卡与工作台垂直对齐；
· 运动性能：X/Y轴最大运动速度≥50mm/s，定位响应快，可快速完成基板对位，提升测试效率；
· 控制方式：支持软件远程自动控制与手动微调，可通过系统软件实现探针卡升降、基板定位、压力调节等全流程操作；
