半导体参数分析仪 SA4000

产品概览

半导体参数分析仪（功率器件静态参数测试仪）专为半导体材料与器件研发设计，集成直流、电容及脉冲测试功能于一体，具备μV/fA级高精度信号解析能力，可快速提取器件电学参数特性并分析材料基础电性能，助力客户加速半导体器件与工艺的研发评估。

产品介绍

I-V 特性测量：可精确测量多种器件的电流-电压（I-V）特性曲线系统标准配置2通道，最高可提供4通道源表输出，可以根据不同测试需求进行灵活配置。

C-V 特性测量：在器件制造和研发中，能帮助分析半导体材料的杂质浓度分布、PN 结的特性以及 MOS 电容的性能等。

脉冲测量：能够产生μS级脉冲信号并测量器件在脉冲条件下的电性能，助力开展器件的瞬态响应、高速开关特性研究。

环境测试：系统可配合热流仪进行高低温环境测试。

定制化系统开发：可以配合客户要求进行软件测试功能的定制化开发。

安全防护：防爆、防触电、防烫伤、过流保护、过压保护。

产品参数

系统配置

系统主机：一体化设计，配备处理软件与处理计算机。
高精度SMU模块（标配）：单模块通道数：2 /最大电流：10A/最大电压：200v/电流分辨率：0.1fA 电压分辨率：10n
中精度SMU模块（可选）：单模块通道数：2/最大电流：10A/最大电压：200v/电流分辨率：100fA /电压分辨率：10nv
CVU模块 （标配）：测试频率：4Hz--8MHz /测试时间：最快1ms/基本精度：±0.05% rdg/最高偏置电压：200v
PMU模块（可选）：最大电压：40v/ 最大电流：10A/最小脉冲宽度：10μs/最大脉冲宽度：500μs/脉冲宽度分辨率：1μs/ 脉冲宽度精度：±200ns
大电流SMU模块（可选）：单模块测量通道数：1/ 最大电压：100V/电流范围：直流7A，脉冲10A/采样率：1MSa/s，电压电流同时采集

软件功能

SA4000-IV电参分析仪内置自研测试软件，集成半导体器件全功能测试与分析模块，其直观的图形化界面搭配灵活的参数配置，可显著提升测试效率与操作便捷性。
内置常见器件类型和预设测试模板，可大大提高测试设置效率。
完整支持直流、脉冲、瞬态、电容测量功能。
支持长时间压力测试，包括HCI、BTI、TDDB等可靠性测试 。
内置强大数据处理能力，可以多种数据保存测试结果，导出数据用于后续分析研究。
支持对探针台和定制化测试夹具的连接控制。
支持外接热流仪进行温度控制和变温测试 。