用途场景
规格参数
产品概览
8英寸全自动探针台
产品介绍
· 精密光学模组及先进的图像算法实现自动对准、自动对针;
· 支持不同测试系统的圆卡及方卡Cable连线测试;
· 测试区域编辑划定,可以提高效率只测试所圈定的芯粒;
· Mapping功能,可以实现测后打点或脱机打点;
· 抽测功能,可实现圆片上不等距步进,任意点测试;
· 具有多Bin分类显示Mapping功能,方便分析圆片参数分布状况;
· 配置磨针台自动磨针;
· 中文式界面,操作使用直观易理解;
· 可满足1000根探针测试,可用于多芯同时探测,提升产能效益;
· 独特机械手吸附技术,解决Taiko\超薄\翘曲等晶圆片无损自动上下料传输;
· CHUCK模块化设计,选配、更换更加便捷;
产品参数
应用领域
适用于8英寸及以下的集成电路、功率器件、分立器件类晶圆测试

主要功能
CHUCK自动清理功能
晶圆ID自动读取
自动打点
晶圆厚度自动检测功能
自动晶圆对准功能
自动对针功能
针痕检测功能
自动清针功能
MAP图实时显示、存储产品

测试应用
射频测试
高压测试
大电流测试
高温测试

特殊应用
无Notch预对准
遮光处理

