用途场景
研发
实验室研发、新产品开发、技术研究
生产
生产线检测、工艺控制、制造过程监控
品控
质量检验、来料检测、成品测试
合规认证
计量检测、仪器校准、精度验证
教学实训
教学实验、技能培训、实训演示
维修
设备维修、故障诊断、维护保养
规格参数
产品概览
综合型高精度半自动探针台，满足多样化的测试需求
产品介绍
· 全新一代高精度定位平台
· 开放式面板设计，搭配不同组件，实现更加丰富的测试功能
· 自动对针，更适用于集成电路多芯同测和倒扣扎针的测试需求
· 常高温、高温、恒温等CHUCK可选
· 抽测功能，可实现晶圆片上不等距步进，任意点测试
· 具有多Bin分类显示Mapping功能，任意分析晶圆参数分布情况
· 高精密光学模组，结合最新图像软件算法，实现探针自动精确定位，安全可靠自动测试
· CHUCK模块化设计，选配、更换更加便捷
产品参数
应用领域
适用于8英寸及以下的集成电路、功率器件、光电器件等晶圆级半自动测试。
测试应用
WAT测试
高低温测试
射频测试
高压测试
大电流测试
低漏电测试
低阻测试
主要功能
针痕检测功能
自动清针功能
MAP图实时显示、存储产品
自动对针功能
自动晶圆对准功能
晶圆厚度自动检测功能
